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深圳市夢啟半導體裝備有限公司

單面精密晶圓銅拋機

型號:DL-ST855/4L

單面精密銅拋機為單面精密研磨設備,采用先進的機械結構和多種先進控制方法。研磨加工效率高,運行穩(wěn)定。

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單面精密晶圓銅拋機
設備優(yōu)勢

◎ 本設備為單面精密研磨設備,采用先進的機械結構和多種先進控制方法。研磨加工效率高,運行穩(wěn)定。


◎ 整機采用PLC+觸摸屏控制系統,設備參數設置和操作簡單方便,系統運行穩(wěn)定性高。


◎ 主電機采用變頻調速控制,實現主機軟啟動、軟停機,降低設備運行沖擊,減少工件損傷。


◎ 工件研磨壓力采用氣缸加壓方式,通過電氣比例閥控制實現壓力的閉環(huán)控制,保證極高的施壓精度與穩(wěn)定性。


◎ 上壓盤采用主動驅動方式,在確保產品研磨速率的前提下保證各工位研磨加工的統一性。


◎ 研磨盤冷卻水冷卻功能,在保證研磨液發(fā)揮最大效率的同時減少研磨盤面的變形。


◎ 設備自帶盤面修整機,盤面修整后可保證0.01mm的盤面平整度。


性能參數
參數名稱單位DL-ST855/4L
主電源V三相 380
主電機功率KW15
修面機功率KW0.2
修面速度mm/min0~180
主電機轉速RPM0~110
上盤驅動電機轉速RPM0~70
研磨盤尺寸mm855
加工尺寸2-8
工作工位4
工件盤尺寸
mmΦ305x15
單工位壓力Kg20~300
拋光液流速L/min15(可調)
主盤溫度檢測±5
設備尺寸(W x D x H)mm1200x2150x2250
設備重量Kg約2600
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晶圓銅拋機根據客戶不同的需求進行定制,滿足不同客戶的需求,擁有專業(yè)技術團隊,設備精度高,使用壽命高,負責上門安裝調試及培訓

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